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光刻机是制造芯片的核心设备,其工作原理就像是“投影”和‘曝光’,通过精密的光学系统和控制技术将电路图案转移到硅片上。
陈望想要大规模制造芯片,那么光刻机就是绕不过去的门槛。
让陈望惊喜的是这时候国内的光刻机展并没有他想象中的那么落后,虽然与国外先进水平相比肯定有一定的差距,但却已经能独立生产制造光刻机。
这个消息还是四机部阮司长告诉陈望的,就在前两个月海市光学机械厂成功研制出了华国的第一台接触式光刻机jkg-型。
而且这台光刻机从光学系统、精密机械、对准技术到光刻胶等配套材料,华国都实现了自主研,是一条完全独立、不受外部制约的技术路线。
陈望当时听到这里的时候有些奇怪,在决定研光刻机的时候他查阅过小才给的国外光刻机展的公开资料。
光刻机如果按照曝光方式区分,目前为止光刻机的展可分为接触式、接近式、投影式三种。
现在国际上最先进的方向是投影式光刻机,但他们国家在接近式光刻机上也有了一定的研究成果。
所以他们国家的光刻机制造水平虽然不是一流,但也算得上是二流水平。
而且就单从分辨率上来说差距就要更小一些了,分辨率是指光刻机能够在晶圆上清晰区分并形成的最小物理尺寸,也是芯片的最小线宽或者最小特征尺寸。
分辨率的数值越小光刻精度越高,现在分辨率的数值一般都是以毫米为单位,但陈望上辈子死的时候已经以纳米为单位了。
从小才提供的资料来看,目前国际上最先进的芯片就是微米制程的,但他们也已经能制出-o微米的芯片。
这种差距也就五六年的差距,那怎么越展差距还越大了呢,以至于到了八九十年代已经有了快o年的差距!
所以陈望还是挺奇怪的,不过现在不是分析原因的时候,既然国内已经有了自主研的接触式光刻机,那么他只要在这基础上改进成接近式光刻机就行了。
接近式光刻机的分辨率极限就是左右微米,这用来制造蜂窝移动通信的芯片组已经够了。
至于投影式光刻机。
陈望看了一眼已经设计好的图纸和列举出来的国内目前完全不能提供的零配件算了,人不能一口吃成一个大胖子。
这种需要调动国家全部工业和科研资源才能攻克的难题仅凭他和四机部合作肯定是没办法的,他还是先在接触式的基础上把接近式光刻机先搞出来再说吧。
至少这个在现有的工业基础上还能实现。
所以陈望又把设计好的投影式光刻机放到一旁,开始进一步研接近式光刻机。
而就在陈望闷头研的时候,都永光电子厂的第四车间内灯火通明,一群穿着白色棉质防尘服,带着布帽的技术员正井然有序的忙碌着。
厂房是苏式风格,高大宽敞,水泥地涂了绿色的油漆,搭配白色的石灰墙让整个车间看来干净整洁,一看就是进行精密操作的重要车间。
不过也的确如此,第四车间正是永光电子厂的光刻车间,闲杂人一律不准靠近。
而此时第四车间外却围了一群人,其中阮仲楷就赫然在列,其余则是永光电子厂还有四机部三院和华科院半导体研究室的各位教授和专家。
他们之所以深更半夜还大老远的赶过来聚集在此就是为了见证一个历史性时刻。
一块完全由他们国家自己研制造的芯片的诞生!
从永光电子厂自己设计的集成电路,到海市光学机械厂研的接触式光刻机,再到一直很难突破一周前却被江宁省物理研究所成功突破拉制出来的第一根单晶硅棒
这每一步每一个环节,都是真正意义上的完全独立自主,所以守在这里的领导和众位专家教授脸上都是兴奋和期待。
现在已经是秋季,再加上此时更深露重温度其实已经有些低,但内心火热的众人根本感受不到一点。
除了因为马上要见证历史而激动欣喜以外,他们还对自己人竟然已经能拉制出一整根单晶硅棒感到震惊。
有种大家明明都以一个平均度前进着,结果有人突然就坐上了火箭,然后突飞猛进的感觉。
而且还是背着他们偷偷坐的火箭,这都到目的地了才告诉他们!
所以大家讨论得异常激烈。
“简直不敢相信,我记得上次四机部三院才拉制出几克单晶硅吧?怎么去了江宁省一下子就拉制出一整根晶棒了?这江宁省难道特别适合制硅不成?”
“什么特别适合制硅,你当制硅是仙人炼丹还需要看风水宝地啊?我看这次成功拉制出单晶硅的关键还是在这个江宁省的物理研究所!”
“嗯?这话怎么说?”
说话的人嫌弃地瞥了眼问话的人,“我说老李你下次出实验室的时候能不能把脑子也带上啊,别一出实验室就跟傻子似的。
你都说了三院之前一直没成功,这次一去江宁省就成功了,你说成功的关键是什么?”
问话的人恍然大悟,“哦!对啊!那成功的关键肯定就是这个物理研究所了!”
·······
稍远一点的地方,陶斯言和阮仲楷坐在石凳上一边抽烟一边聊天。
“阮司长嘴巴可真严,要不是我们跟陈望也有合作,你今晚上也不会叫我们过来吧?”
陶斯言说到这里就郁闷地抽了一大口烟,明明是他们先和陈望有的合作,结果研究制硅的事他们却一点没有参与上!
“呵呵呵呵,陶教授说哪里的话,你们华科院是我们最高的科学机构,研究成果对哪个单位保密也不能对你们保密啊!”
阮仲楷说完又继续道:“况且这次成功得实在太快了,根本来不及先告诉你们,我感觉自己现在都还没有反应过来呢。”
陶斯言趁着夜色翻了个白眼,“哦?是嘛?不过我怎么听说你们的研究团队还没有过去,人家陈望就已经拉制成功了啊?阮司长,你们这是直接过去捡便宜啊?”
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