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第1443节（第2页）

张汝宁如释重负地舒了口气，肩膀微微松弛下来。

然后习惯性地转身，准备招呼大家短暂休息。

然而，这一转身，整个人瞬间就僵住了。

几米开外，正伫立着几个身影。

跟他们一样，都穿着封闭的白色无尘服。

由于面罩的存在，看不太清楚面孔。

只能从体型和动作习惯中分辨出，为二人中的左边那位，应该是常浩南。

至于剩下几人，则不像是火炬实验室的成员。

“常院士？”

张汝宁的声音透过面罩，显得有些瓮声瓮气，但还是能听出明显的错愕，眼神也在几人之间游移不定。

栾文杰倒是知道眼前就是常驻火炬实验室进行系统研的长光集团技术团队，但因为同样的原因，也分不清其中谁是谁。

好在常浩南及时开口，向二人分别介绍了对方的身份。

这下，栾文杰总算有了精确的目标，上前几步来到张汝宁面前，主动跟他握了握手。

而后者在听过刚才的介绍之后，就已经脑子嗡的一声愣住。

工建委一把手！

他下意识地就想说些“欢迎领导视察指导”之类的场面话，但到了嘴边却又猛地卡住——

眼下可是在火炬实验室的地盘上，自己身为临时来此工作的合作方，做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。

结果僵在原地，一时不知如何是好。

一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。

“栾主任，刚刚被提升起来的那两个模组，就是我们专门给smeearf-18oo光刻机研的物镜系统，还有作为对照组的arf-15oo物镜”

又是常浩南及时开口，把众人的注意力转移到了旁边的测试平台上。

无形的压力瞬间消失，张汝宁如蒙大赦，立刻接上话题：

“我们刚刚进行的测试，就是在193nm的duv光源条件下，对比新旧两种物镜方案的性能……”

栾文杰并非光学系统或者半导体出身，之前也没看过光刻机被大卸八块之后的样子，所以下意识来到体积更大的15oo模组旁边，左右看了一圈然后才瞄向另一边体积更加紧凑的18oo模组。

“体积大了这么多？”

显然，他是把更大的模组当成了更先进的。

当然传统上，光刻系统的物镜组也确实是性能和体积成正比。

只不过常浩南的路子实在不同寻常。

张汝宁赶紧解释：

“我们采用了火炬实验室提供的负折射材料，结合常院士提出的‘折反镜一体设计’理念，大大简化了物镜组的光学设计。”

听到“简化”两个字，栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。

好在还没把脸给丢出去，所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边，微微俯身，似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。

只是理所当然地失败了。

“传统的折反式物镜组内部包含过三十片精密镜片，用于校正像差、色差，并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂，体积和重量很大，而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。”

张汝宁进一步介绍道：

“而在更新的18oo物镜组里面，大部分功能被集成在少数几片核心镜片上，独立光学元件的数量缩减到14个，所以体积比老型号小了一半以上……”

“……”

就在这时，一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。

“张组长，最新一组测试数据已经处理完成！”

他走到张汝宁同时也是走到栾文杰身边，汇报道：

“193nm波长下，18oo物镜组的等效数值孔径（na）实测最大值为1.8oo9，最小值为1.7996，na一致性达到±o.oo13，该数值远优于我们设计指标要求的±o.oo6，也完全符合设计方案中理论na值1.8o的预期……”

“全视场振幅极化量rms（均方根值）实测最大11.85%，最小11.8o%……”

“全视场相位延迟量rms实测最大3.77nm，最小3.45nm……”

实际上，这里面的多数参数都是之前就已经测完的，而且往常也不需要他专门汇报一遍。

报告导出来，大家分别翻阅就行了。

但此刻面对亲临一线的栾文杰，这份详尽到几乎冗余的数据汇报，就显得格外“恰到好处”且分量十足。

“等等。”

果然，栾文杰打断了后续的参数报告。

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