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第1437节（第2页）

可能是因为之前一路跑过来的缘故，栗亚波的呼吸有些急促：

“可以替代现有体系，对偏振像差进行描述和理论解释。”

此话一出，就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作，转过头来看向栗亚波。

“替代琼斯矩阵？”

不止一个人脱口而出。

在传统光学系统的成像过程中，大多是将光看做标量处理，而忽略其矢量特性。

但在投影光刻物镜中，当数值孔径na不断增大时，光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。

尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.7o的系统，传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。

必须使用偏振像差理论。

然而，偏振相差甚至没有一种完善的描述形式，穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。

如果能解决这个问题，无疑是补上了高精度成像领域的一个缺口。

张汝宁瞬间做出决断：

“先暂停手头的所有实验操作，锁定设备状态！”

“小何，注意保存好所有数据。”

“所有人，跟我上楼！”

第1615章一束光的方向

大约十分钟后，张汝宁研究团队的全体成员，当然还有栗亚波等火炬实验室方面的代表，就坐到了火炬实验室顶楼的会议室里。

常浩南站在前方的小讲台旁，眼下的乌青清晰可见，显然连日劳心费神。

好在精神相当振奋，显然心情不错。

身后占据大半面墙的显示屏上，密密麻麻的公式和符号令人望而生畏。

尽管在座的都是光学领域的资深研究员，但在面对这样一片如同迷宫般的数字和符号时，还是难免有些怵。

当然，这也是人之常情。

数学嘛，不会就是不会。

见众人坐定，他没有任何寒暄，直接指向屏幕最上方的一个矩阵：“这个，大家想必不陌生吧？”

会议室里响起一阵轻松的笑声，抹去了方才的一丝凝重。

“描述偏振像差的琼斯矩阵。”何修军推了推眼镜，应声道，“对于我们搞光学的来说，是吃饭的理论基础。”

“不错。”常浩南微微颔，“琼斯矢量和琼斯矩阵，在部分相干成像领域确有应用。”

他的激光笔点在屏幕上：“但琼斯光瞳本身并非表达偏振像差的最佳形式。”

这些内容对于在座众人来说都不算高深，所以常浩南的语也非常快。

“关键在于，它没有明确给出偏振像差中相位延迟和振幅极化的具体值，所以需要对琼斯光瞳进行分解。”

说到这里，他故意停顿了一下。

果然，下面很快有人接道：“传统方法是用泡利矩阵基对琼斯矩阵进行分解，得到四个复数系数。”

常浩南点点头，直接在屏幕上找到并圈出了分解结果。

“很经典的思路。”他评价道。

可紧接着又话锋一转：

“不过，这四个系数本质上是通过数学手段硬凑出来的，各自并没有非常明确的物理意义。”

张汝宁稍稍坐直身子，开口道：

“工程实践中，我们通常认为：分解结果中的ao项实部代表切趾（光强非均匀性）、虚部代表波前像差，而a1、a2、a3项的实部对应振幅极化、虚部对应相位延迟。”

常浩南并非光学工程出身，听到这个解释之后微微一愣。

然后转过身，仔细检查着屏幕上对方提到的对应关系。

片刻后，他重新面向众人：

“确实是个工程上可行的近似方法……但从严格的数学物理角度审视，数值等同并不意味着物理意义等同……更何况在泡利分解的结果里，连数值也只是近似等同，而不是严格等同。”

“张研究员，我说的应该没错吧？”

“没错。”张汝宁点头，“不过数值差距很小，据我所知即便是euv光刻系统，也不会因为其中的误差而产生影响。”

常浩南摇了摇手里的翻页笔：

“问题在于，没有等价的物理意义，就根本无法对复杂偏振系统进行分析。”

这一个月里，张汝宁几乎养成了在常浩南说完话之后下意识点头的习惯。

但随即关注到了重点：

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