8品小说

手机浏览器扫描二维码访问

第1430节（第1页）

他再拿起第三片：“这是‘显影缺陷’……工艺窗口太窄，稍有不慎，图案就毁了……”

“……”

他如数家珍般介绍着每一类报废的原因，语气平静，却像在展示一场场微缩战役的遗迹。

“这些，都算是我们交的学费……不过，在euv光刻机很可能无法获取的当下，这是我们唯一能看到的、通往更先进制程的技术途径。”

话语里听不出太多抱怨，只有一种面对客观规律的无奈。

常浩南的目光缓缓扫过这片触目惊心的“报废陈列区”，在这些承载着高昂代价和失败印记的晶圆上停留了几秒。

就在他移开目光的瞬间，视线落在了陈列台旁边墙上一个不起眼的展示框内。

框里并非照片或奖状，而是一张略显陈旧、线条密集的工程结构图。

或者更严格来说是一系列结构图。

看上去已经有些年头了，以至于上面标注的各种光学参数和镜片结构都有些模糊。

“这个……是物镜组的设计图？”常浩南走近几步，指着那张图，“你们还做过光刻设备的研？”

旁边几个人都微微一怔，没想到常浩南会注意到这个角落。

“常院士好眼力。”吴明翰走上前解释道：“不过这是……好些年前的事了。”

他来到那张图面前站定，上下打量了一番：

“世纪初那会儿，国内连紫外光刻机都几乎是空白，我们确实组建过一个研团队，尝试自研核心部件，尤其是物镜系统……这张图上面列出来的，就是陆续设计出来的一系列成果。”

他语气带着一丝缅怀和感慨：

“不过我们毕竟资源有限，不能过于分散精力去搞设备研……而且长光所和沪光所那边也很快承担起了光刻机整机和核心部件的攻关任务，所以我们内部评估后，就停止了这方面的项目，把力量集中在工艺优化和制程提升上，研究也就止步于这些图纸了。”

他指了指图上复杂的透镜排布：

“您看，这是典型的全折射式设计，依靠大量高精度透镜的组合来聚焦光线，而现在主流先进的浸没式光刻机，用的都是更复杂、更精密，但也更强大的折反式物镜组，能结合反射镜和折射镜的优势。”

提起这段历史，人群中的气氛一时间有些微妙。

一直安静旁听的周学此时也开口补充道：

“虽然最后也没亲自下场造出光刻机，但这段早期的研投入也不算白费……我们对光刻工艺本质的理解主要来源于这个阶段，也后来快吸收和掌握设备，还有攻坚生产工艺打下了基础。”

常浩南凝视着那张略显泛黄的图纸，手指在展示框的玻璃上轻轻划过那些代表透镜的圆形轮廓和代表光路的射线，若有所思地点了点头。

还有一些问题，他本来是打算再去一趟长光所看看的。

但现在看来，似乎省事了。

第16o8章两手准备

参观结束，一行人来到基地顶楼一间安保级别极高的专用会议室。

厚重的隔音门关闭，只剩下核心的几人。

短暂的沉默后，常浩南端起茶杯抿了一口，放下，目光直接投向吴明翰。

“吴院士，抛开继续优化多重曝光和分辨率增强技术这条路不谈，在现有的193nmarf光源条件下，要想提升单次曝光的分辨率，还有没有更直接的技术路径？”

手握负折射材料这么个王炸，那最根本的解决方案当然是走向表面等离子体光刻，由携带高频信息的倏逝波取代低频的传输波成像，直接掘了当前半导体生产体系的祖坟。

但这种事情相当于从零开始盖高楼，连理论基础都要重新来过，显然不是一朝一夕能完成的。

所以为了应对眼前随时可能出现的危机，最好还是能在现有基础上，整出来点短平快的升级手段。

吴明翰一直在思索常浩南的真正目的，但这个问题实在普通，深究不出什么东西来。

只好照常回答：

“在相同波长的光源下，不同型号光刻机，比如我们现在用的nxt：195oi和asm1更先进的nxt：2oooi，它们性能差异的核心指标还是数值孔径（na）和工艺系数。”

他拿起激光笔，在桌面投射出一个简易的光路示意图：

“na值，简单说，决定了光学系统收集和汇聚光线的能力，这个项越高，理论上能达到的分辨率极限就越小。”

激光笔的光点停留在象征物镜的透镜组位置：

“具体来说，na等于底镜、浸没液和光刻胶三者折射率（n）的乘积，再乘以孔径角半角的正弦值，当然光刻胶和孔径角的设计自由度有限，所以主要是另外两项的材料。”

“我们目前使用的nxt：195oi，是氟化钙底镜，配合2g系列的浸没液，na最高能达到1.35左右，更先进的nxt：2oooi，底镜是性能更好的氟化锂钡，浸没液也是优化的3g系列，能把na推高到1.45左右。”

吴明翰放下激光笔，看向常浩南：

“不过，这基本就是传统技术路线的极限了。”

常浩南一直专注地听着，此刻微微皱起了眉：“浸没液这块我不熟悉，不过……底镜为什么不能用折射率更高的材料？”

紧接着又补充了一个更详细的数字：“我记得……镥铝石榴石的折射率能接近1.9？”

这是之前做实验过程中用过的。

这个问题一出口，会议室内包括周学、黄炜在内的所有人，几乎同时精神一振。

倒不是说问题本身有多精深。

而是足够具体。

请关闭浏览器阅读模式后查看本章节，否则将出现无法翻页或章节内容丢失等现象。