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第107章
看到这个实验结果后,几人刚才还高兴的表情,顿时烟消云散。
“这......是怎么回事?”
唐吉有些吃惊,她又再次核算了一遍,确定结果没有出错。
“看来实验失败了。”
田帅等人有些灰心,毕竟这是几人努力了一个星期的结果,毕竟以前是彭老亲自指导,他们以前从来没有过这种失败!
“程潇,你不是说这次实验可以达到三纳米吗?怎么结果还是没变?”
霍成龙用质问的口气问道:“不仅如此,就连其他的数据还变差,连最基本的要求都没达到。”
他们很明白,这颗芯片可以说是失败至极!
连能用的标准都没达到!可以说和废品没有任何区别!
“应该出了点小问题,大家不要紧张。”
程潇皱了皱眉,随即便打算拆开设备进行检查。
“哎哎哎,你要拆设备,这可是咱们做了整整一个星期的啊?”
陈泽见状立马叫住了他。
“不拆开怎么知道问题在哪?修好也用不了多少时间的。”
程潇说完后,便来到实验室内,亲手将自己制作的EUV仪器外壳拆开,露出里面复杂的线路和零件。
他反复检查后,还是没能发现问题所在。
“你们过来帮我一下。”
“唐琪,你去检查各个连接线路。”
“陈泽,你重新调试光脉冲数值。”
“霍成龙,你检查闭合线路。”
......
交代完后,几人也马上投入到了检测工作中。
排查过程中,众人越来越疑惑。
第一次检查没有任何异样,说明基础的东西没有任何问题。
那现在就只能是程潇做的EUV出了问题。
田帅等人心里已经开始质疑起来,但又不好当着程潇的面问。
“看来情况有些糟糕。”
虽然程潇不愿意相信,但确实是自己制作的EUV出了问题。
这时,唐琪走过来说道:“程潇,咱们要把EUV仪器拆下来检查吗?”
这仪器是他们好不容易才安装上去的,如果又重新捣鼓一下,起码得花上一天时间!
更何况仪器内部无比精密,先不说能不能检查出毛病出在什么地方,万一不小心磕着碰着弄坏了,他们这几天都算是白干了!
所以这是一个非常冒险的举动。
程潇听完后也陷入了沉思,想了半天后,他给出了一个让所有人震惊的回答。
“这样,我把外壳拆开,重新做一次实验。”
“什么?!”
众人明白了程潇的意思:“你是想直接通过实验观测问题所在?”
“嗯。”
程潇点了点头,说道:“待会儿我就待在实验室里,你们把光学显微镜给我拿过来,我一点一点看着做。”
疯了,简直是疯了!
第一次听说有人要在光刻机内部盯着做实验的!
“不行,这样太危险了!”
唐琪有些担心的说到:“光脉冲伤害极大,万一出了什么事,可不是闹着玩的!”
“眼下时间紧迫,我们没有别的选择了。”
程潇态度十分坚决,自己走出去将显微镜拿了进来。
众人经过几天的相处,也是知道他的脾气,所以也只好按照程潇说的做。
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