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第九四三章 双工作台（第1页）

“魏总，邓院长，公司哪天生产一条6英寸晶圆、1um制程工艺的半导体生产线？我就拿出淘宝控股公司拥有的200万股京城半导体设备的股份，作为股权激励，奖励给做出贡献的科研人员、管理层和优秀员工，等公司股票上市半年后，这200万股股票作为职工股可以上市交易。”

淘宝控股公司投资BSEC3亿元，拥有3亿股，占股60，还有其他四家国有股东，重生者不可能拿出淘宝控股公司拥有5的BSEC股份赠送给管理层、科研人员和其他员工，还容许配股5。

人人都有股份，不如股权激励的效果好，还能吸引高层次科研人员。

重奖之下必有勇夫！

啪啪……

六个人不由自主的拍起了巴掌，眼前一亮。

一旦研制成功6英寸晶圆、1um制程工艺的光刻机，极有可能收获科技进步一等奖，研究员欧阳明和陈伟长还有可能更进一步。

一旦上市，大家名利双收！

“邓院长、欧阳副院长、陈副院长，九一年四月，我在荷兰ASML公司，在总经理普拉多的陪同下，参观ASML光刻机时，突发奇想，一台光刻机内要是有两个承载晶圆的工作台，一个工作台曝光，一个工作台测光，相互独立运行，能否提高光刻机的产量和制程工艺？当时忍住没有告诉普拉多，你们觉得在一套光刻系统里配备两个工作台是否可行？”

孙健暂时还不想告诉众人，他投资了ASML30的股权。

光刻机主要由光源、光学系统和工作台三大核心部件组成，光刻机工作台主要承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等。

美国公司的极紫外光、德国公司的光学系统和自创的双工作台系统是ASML光刻机成为光刻机霸主的三大法宝！

Nikon和佳能前世都没有攻克双工作台技术，不得不购买ASML的双工作台系统公司发明专利。

前世有个华清教授带着团队研发成功光刻机双工作台系统，打破了ASML的垄断，并成立了一家高科技公司，成为世界上第二个拥有光刻机双工作台系统公司发明专利的企业。

BSEC与Nikon差得太远，光刻机是一个高科技系统性工程，迎头赶上需要时间，ArF准分子激光器才刚刚立项，193nm光源还没有影子，只能另辟蹊径，要是能研发成功光刻机双工作台系统，BSEC就能在全球光刻机行业中有说话的资本。

重生者只知道光刻机双工作台技术是ASML垄断高端光刻机的三大法宝之一，但设想如何变成现实就不是重生者能左右的事情了。

“双工作台？董事长，我觉得有些难度，我们马上集中三家单位的相关科研人员联合攻关，一旦开发成功，拿到公司发明专利，其他光刻机公司想提高芯片的制程工艺精度和效率，不得不采用这项公司发明专利，公司就是靠收取这项专利费也能生存！”

邓国辉、欧阳明和陈伟长眼前一亮，赫然开朗，心里惭愧，以前怎么没有想到？

“邓院长，我给你们推荐江城曙光通讯自动化设备研究所的顾问、钟德伟教授的研究团队，利用三家研究所现有的设备和材料开始研制双工作台，严格保密，开发成功后，根据贡献大小，我个人出资一百万元，奖励管理层和技术团队！”

前世，华中大学的激光技术和工业自动化技术实力超过华清，经过近四年的发展，林启峰和钟德伟领导的曙光通讯自动化设备研究所在通讯设备自动化技术方面处于国内第一。

一百万元可不是小数目，BSEC出钱就要与其他三家G有股东董事开会商量，重生者也不想背负拿G有资产笼络人心的坏名声。

“好的，董事长，我亲自去请！”

魏建国知道大名鼎鼎的江城曙光通讯自动化设备研究所，只要孙董事长打招呼，一切都迎刃而解。

“首长，您好！”

孙健拿着2500万元美元外汇额度的申请报告和购买清单，来到事先约好的朱副领导办公室。

BSEC在京城工商局登记注册简单，但三家研究所和三家配套工厂的人员、机器设备和材料从原单位的剥离和搬迁是个复杂的系统性工程，李涛、刘芳、杨昌霞、张斌和钟国华乘飞机来到京城，叶茂派人协助魏建国、李昌杰和钱国培登记造册，与公司管理层、技术人员和普通员工签订劳动聘用合同和技术保密协定。

公司人事部、财务部、保卫部和后勤保障部相继成立。

邓国辉、钟德伟、欧阳明和陈伟长率领一百多人的研发团队，在中K院半导体设备厂，开始研制双工作台的工艺和设备，这相当于加入BSEC的投名状，名利双收，工作热情空前高涨。

ArF准分子激光器项目、5英寸硅晶圆项目和光刻机新镜头项目前期准备了好几年，如今资金到位，购买先进的实验设备和新材料，厚积薄发。

张宏伟和邓文林率领八百多名员工和一百三十多辆（台）车和建筑设备进入了工地，要在八个月内完成十二万平米的建设任务，任务艰巨。

一群大领导出席了奠基仪式。

这是国W院督办的G家重大建设项目，各方面都开了绿灯！

椰城滨海路顺圆花园小区项目第三期工程的主体工程已经完工，杨德波率领三百多名外地员工打算返回鹏城，原计划休息半个月后，加入到宝安区住宅示范小区的建设中，接到命令，率部乘火车赶往京城。

谢卫民也派来了三百名员工。

张斌和邓文林带来了二百名员工。

杨德波率领三百名员工还在路上，还有一百五十多辆（台）车和建筑设备还在路上。

“孙健辛苦了，过来坐！”

朱副领导一脸尴尬，他已电话询问魏建国，BSEC的筹备情况？

三家只能勉强凑齐一套光刻机半导体设备和材料，孙健另外投资25000万元订购一套新的设备和材料，还为研究所添置1000多万美元的机器设备和材料，需要2500万美元的外汇额度。

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