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第一一一六章 不同意（第1页）

GCA当时投入研发EUV技术项目的3000万美元经费，可以收购ASML40的股权，不是一笔小数目！

GCA当时账上的现金流只剩下300多万美元，公司要花钱的地方多的是。

孙健前世在互联网上看过不少有关ASMLEUV光刻机的文章，作者纷纷感叹研发和生产EUV光刻机之难难于上青天，被称为外星人的科技水准，是迄今为止人类科技领域所能达到的最尖端技术，没有之一。

为了打破封锁，投入巨资，举国之力也没有看见成果。

前世90年代末，干式193nm波长光刻机遇到了65nm制程工艺的极限，再往下就寸步难行，如何跨入40nm制程工艺？成为阻挡所有光刻机等半导体厂商的世界性难题，科学家和产业界提出了各种超越193nm波长的方案，其中包括157nmF2激光，电子束投射EPL，离子投射IPL、EUV135nm和X光等。

相对而言，157nmF2激光的技术难度稍低，不少公司开始下注157nmF2激光，其中尼康和SVG在这个技术路线走的最远，是最接近商业化量产的两家公司。

几年后，ASML收购了SVG，也拥有了157nmF2激光技术，又砸下数亿美元进行研发，此外ASML也还尝试开发EUV光刻机。

财大气粗的英特尔一开始就倾向于激进的EUV135nm方案，希望彻底解决光刻机的波长世界性难题，集中全球顶尖科技精英一起愚公移山，他们说服对高科技开明的克林顿内阁，发起成立了EUVLLC（EUV有限责任公司）。

EUVLLC由英特尔和美国能源部牵头，集中了当时如日中天的摩托罗拉、IBM和AMD，以及享有盛誉的美国三大国家实验室：劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室，集中数百位世界顶尖科学家，投资2亿美元研发经费，从理论上验证EUV可能存在的技术问题。

英特尔当时打算邀请光刻机行业第一、第二位的Nikon和ASML加入EUVLLC，但美国政府担心最前沿的光刻机技术落入外国公司手中，反对Nikon和ASML加入。

ASML为了表现诚意，同意在美国建立一所工厂和一个研发中心，以此满足所有美国本土的产能需求，另外，还保证55的零部件均从美国供应商处采购，并接受定期审查，做出多项让步后，最后成功加入EUVLLC，能够享受其基础研究成果，Nikon却没有机会加入，失去了同ASML竞争的机会。

几年之后，终于论证了EUV的可行性，于是EUVLLC的使命完成，公司解散，各个成员踏上独自研发之路。

ASML加入EUVLLC后，享受到的研究成果大大加快了其EUV的研发进度，2005年摩尔定律陷入停滞，极紫外光刻技术被认为是制程突破10nm制程工艺的关键，但由于EUV光刻机几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限，光源功率要求极高，透镜和反射镜系统也极致精密，还需要真空环境，配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高，别说是对日本与荷兰，就算是科技全球第一的美国，举国之力独自突破这项世界最尖端的技术，也是痴人说梦。

由于技术难度极高，需要巨额的研发资金，尼康和佳能只得选择放弃，彻底沦为中低端光刻机厂商。

ASML成为唯一的候选人！

ASML以23的股权得到英特尔、三星和台积电的53亿欧元的研发EUV光刻机的资金，而这三家客户也因此获得优先供货权。

ASML也成为美国大财团控股的荷兰高科技公司！

从1997年，英特尔和美国能源部牵头成立EUVLLC开始，到孙健重生前的2017年，ASML才成功量产第一台EUV光刻机，集中全球物理学、材料学和精密制造极限的技术成果，还用了整整20年的时间！

EUV光刻机研制成功之难难于上青山不是一句调侃！

孙健预测再投入1亿美元，汤普森团队就是能研究成功EUV，在EUV光刻机这种人类技术最复杂的宏伟工程面前，GCA即使耗费几十亿美元的研发经费，也不可能独自生产成功，要集中全球最顶尖的物理学、材料学和精密制造等科技成果，也只有美国才有这样的组织能力。

GCA生产高端光刻机，BSEC生产中低端光刻机，这是收购GCA时，孙健给两家公司的定位，不以他的意志为转移。

GCA重获新生，ASML将失去进入EUVLLC的机会，ASML独自研制成功EUV光刻机如同痴人说梦话，BSEC也不能！

苏联解体后，以俄罗斯为首的东欧国家已经倒向西方阵营，同我们友好的国家，其经济和科技实力都不强，在如今的科技和经济条件下，举国之力，BSEC研制EUV光刻机，没有20年，也看不到成果。

重生者又不是神仙！

在美国政府和高科技公司的技术和资金支持下，全球只有GCA才有可能研制成功EUV光刻机，不然，耗费的研发资金就有可能拖垮GCA。

GCA终归是美国半导体设备生产的高科技公司，一旦中美交E，美国政府会以国家安全为由收回TIC持有的GCA股权，除非加入美籍，孙健早有心理准备，到时，出售GCA股权给INTER或IBM，收回几十亿美元的投资回报应该问题不大。

美国人的锲约精神只有国内的公知才相信！

GCA研发成功EUV光刻机耗时越长，对BSEC越有利，一旦浸没式光刻机在EUV光刻机之前研制成功，BSEC将成为光刻机行业的一匹黑马！

BSEC才是孙健需要真正关心的孩子，但要养大这个孩子也不容易。

“董事长，我从一个在商务部工作的朋友那里得到确凿消息，如今TH关系紧张，商务部出口管制委员会不同意公司出口250nm制程工艺的半导体生产线给PGCA的申请，除非克林顿总统出面授权！”

三天后，艾德里安向孙健汇报，一脸的遗憾，希望孙健直接找克林顿总统。

“艾德里安先生辛苦了，我明天回国。”

孙健早就料到这个结果，不是十分遗憾，他不会为了GCA和PGCA的利益，前往总统府，请求克林顿给GCA和PGCA一个机会，在如今TH关系紧张的敏感时期，即使成功，一旦被有心人利用，传到国内互联网上，卑躬屈膝，汉奸，奴才……

人心叵测！

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