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第232章 光刻技术大突破极紫外光源现世（第1页）

赵建国推开实验室的门，顺手把反侦察外套挂在墙角。那件灰布料的衣服刚脱下来，手腕上的干扰表也摘了，放进抽屉时碰出一声轻响。他没回头，径直走向主控台。

贾东旭正趴在屏幕前，眼睛盯着波形图一动不动。他的手指在键盘上敲了一下，又一下，像是怕惊扰了什么。控制台上摆着三个空杯子，咖啡渍干在边缘，像是画了圈。

“再试一次。”贾东旭说，“这次调低输入电压。”

赵建国点点头，没说话。他坐下来，手指搭在操作面板上。刚才那一场对峙耗了不少力气，但他现在顾不上休息。图纸保住了，接下来的事更不能出错。

系统界面弹了出来，右下角有个小红点在闪。他点进去，今天签到还没做。页面刷新，跳出一行字：【光源稳定术（一次性使用）】。

他看了两秒，直接点了启用。

刹那间，天花板亮起一层淡蓝的光，不刺眼，也不热，像水一样慢慢往下落。整个实验室都被罩住了。仪器出的声音变了，原本断断续续的蜂鸣变得平稳，屏幕上的曲线从乱跳变成一条直线。

“稳了？”贾东旭猛地抬头。

赵建国盯着主频数据，“输出功率恒定，波动小于o。”

话音刚落，旁边一个工程师手一抖，咖啡杯掉在控制台上，液体顺着边缘流下来。他愣了几秒，突然笑出声：“真稳了！这回是真的稳了！”

另一个人冲过来查看日志，嘴里念叨着参数，翻到第三页时停下，大声喊：“连续运行十二分钟无报警！我们没触保护机制！”

实验室里一下子热闹起来。有人拍桌子，有人互相击掌，还有人直接站起来大叫：“成了！这下真成了！”

贾东旭抓着赵建国的手臂，声音有点颤：“你刚才……用了什么？”

“系统给的。”赵建国指了指头顶还在光的装置，“就刚才签到得的，名字叫‘光源稳定术’。”

“神了。”贾东旭摇头，“前三天我们换了七种方案，连谐振腔都拆了重装，就是压不住抖动。你现在一开灯，全安生了。”

赵建国笑了笑，“可能是时机到了。”

他转头看向核心舱。那台极紫外光源设备正安静运转，激光束穿过真空管道，打在测试靶上，留下一个极小的光斑。这个光斑，足够用来雕刻芯片上的线路。

系统提示音在这时响起：【核心科技完整度达o，解锁未来科技预览功能】。

新界面自动弹出，左边是时间轴，右边是一串模糊的图标，像是被雾遮住了一样。赵建国点了一个，只看到几个字：“生物合成模块·初步构型”。

他没继续看，关掉了窗口。

“下一步怎么走？”贾东旭问。

“先把光源集成进光刻机原型。”赵建国说，“测试曝光精度，如果能达到五纳米以下，就可以准备量产方案。”

“材料那边能跟上吗？”

“我已经让何雨水调整app调度，优先供应高纯气体和特种镜片。四合院那边也能支援一部分加工能力。”

贾东旭搓了搓脸，“这才几个月啊，咱们从零开始，现在居然能把euv搞出来。”

“不是咱们。”赵建国说，“是大家一块儿推的。没有食堂那些分红款买零件，没有王奶奶天天送饭到实验室门口，这事早黄了。”

正说着，外面传来哗哗的声音。两人抬头看窗外，雨点已经开始砸下来，打得玻璃咚咚响。天色暗得快，一道闪电划过，照亮了对面屋顶的摄像头。

“年的第一场夏雨。”贾东旭靠在椅子上，“来得正好。”

赵建国站起身，走到记录仪前按下保存键。第一批稳定数据已经存入本地服务器，备份也同步到了地下机房。

“通知所有岗位，今晚加班。”他说，“明天早上八点前，我要看到集成方案初稿。”

“你就不歇会儿？”贾东旭看着他。

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