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而陆向真则在大量实验数据的基础上,提出了一种非对称的激进设计思路,认为这样可以更好地抑制熔体对流,获得更均匀的晶格结构。
“陆所长!你的想法太大胆了!缺乏理论支撑!热场不对称会导致应力集中,很容易长晶失败甚至炸膛!这个风险我们不能冒!”林翰民激动得脸色发红,据理力争。
“林教授,理论需要实践检验和修正!我们之前的经验已经表明,完全对称的热场并不能解决所有问题!熔体内的对流是三维的丶复杂的!我认为非对称热场恰恰可以産生一个反向的抑制力!我们必须尝试!”陆向真毫不退让,指着模拟数据和图解。
“尝试?拿一炉价值连城的高纯矽料去尝试?万一失败了,这个责任谁负?工期耽误了怎麽办?”林翰民拍着桌子。
“科研本身就是冒险!不敢试错,就永远无法突破瓶颈!责任我来负!”向真语气斩钉截铁。
会议室里鸦雀无声,何沁丶王世钧等骨干面面相觑,不敢插话。两位技术权威的争论如此激烈,实属罕见。
“你……你这是经验主义!是蛮干!”林翰民气得胡子都在抖。
“林教授!我是基于数据和实验观察做出的判断!不是瞎干!”陆向真也提高了音量,“如果我们一切都墨守成规,跟在别人後面亦步亦趋,那还要我们这个研究所干什麽?!”
争论持续了整整一个下午,谁也无法说服谁。
最终,向真基于所长的职责和项目进度的压力,强行拍板,决定按她的方案进行下一次试验。
林翰民脸色铁青,摔门而出,一连几天都不和陆向真说话,只是埋头做自己的计算,仿佛要用事实来证明向真的错误。
陆向真心里也不好受,她尊重林翰民,知道他的固执源于对科学的严谨和敬畏。
但她更相信自己的判断,那是无数次成功与失败淬炼出的洞察力。
试验那天,气氛格外凝重。所有人都知道这场试验背後的争论。
林翰民也来了,他远远地站在角落,面无表情地看着。
炉火燃起,新的非对称热场开始工作。仪表盘上的数据曲线呈现出与以往截然不同的走势。所有人的心都提到了嗓子眼。
出乎意料的是,熔区异常稳定,甚至比以往任何一次都要平静。引晶丶放肩过程异常顺利。当矽棒进入等径生长阶段时,其表面的光泽度和均匀度肉眼可见地优于以往。
成功了!
当最终的检测数据出来,显示晶格完整性丶电阻率均匀性丶少数载流子寿命等关键指标均大幅提升,甚至超越了预期目标时,整个实验室沸腾了!
王世钧激动地狠狠一拍大腿:“成了!所长!您的法子真神了!”
何沁也露出了如释重负的笑容。
向真长长地舒了一口气。
只见老教授独自走到主控电脑前,仔细地看着拉晶过程记录下来的温度丶功率丶转速等海量数据曲线,又拿起计算尺和草稿纸,飞快地演算着什麽。
良久,他放下笔,缓缓地转过身,走向向真。
实验室里安静下来,大家都看着他们。
林翰民推了推眼镜,脸上没有了之前的怒气,取而代之的是一种复杂的丶混合着困惑丶佩服和一丝尴尬的神情。
“陆所长,”他开口,声音有些干涩,“我……我刚才重新计算了一下。在引入你设计的非对称热场後,熔体内的温度梯度和流场分布确实发生了改变,産生了一个……一个我之前模型中没有考虑到的次级环流,这个环流恰好抑制了主对流的振荡……你的设想,从理论上是成立的,是我之前的模型过于简化了。”
他顿了顿,向着向真,微微欠了欠身:“对不起,是我固执己见了。你的决策是正确的。”
陆向真连忙扶住他:“林教授,别这麽说!没有你之前扎实的理论基础和严谨的作风,我们也不可能有今天的积累。我们的目标都是一样的,都是为了把事儿做成,做好。你说是吧。”
一场风波,最终以技术的突破和彼此的更加敬重而告终。
这件事也让所里的年轻人深刻体会到,科学探索既需要林教授那样的严谨与坚守,也需要陆所长那样的魄力与创新。
时光飞逝,进入七十年代。研究所的工作一步步走向深入。
高纯多晶矽实现了小批量稳定生産,纯度向着“9个9”乃至更高迈进;单晶矽的直径不断增大,质量稳步提升;林翰民带领的理论小组对矽中缺陷成因丶氧化层质量丶界面态等基础问题的研究取得了系列进展,撰写的大量内部研究报告成为指导工艺改进的宝贵财富;
在向真的坚持下,一个小型的光刻胶研究小组也悄然成立。
虽然条件极其简陋,只能从最基础的环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶做起,但毕竟迈出了布局光刻技术的第一步。
人才培养方面,更是硕果累累。
何沁已成为分管工艺和质量控制的副所长,严谨细致,作风硬朗;王世钧是当之无愧的设备与中试负责人,哪里有问题,哪里就有他;当年招进来的那批年轻大学生,如今都已成长为各研究室丶各工艺环节的骨干力量。
最让向真欣慰的是她在湖北遇到的“小天使”江晓的成长。
1972年,江晓以优异成绩从华中工学院机械系毕业,1975年又拿到了北大材料系的硕士学位,随後婉拒了多家单位的邀请,毅然回到了培育她的新材料研究所。
初到所里时,面对偶像向真和诸多前辈,她依然有些羞涩和拘谨,大部分时间都默默埋头工作,刻苦钻研。但她扎实的理论功底丶出色的动手能力和在关键时刻表现出来的勇气与忠诚,很快就赢得了大家的认可。
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