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第1445节（第2页）

274nm！

刚才的结果或许还能用误差解释。

但这此，已经明确无误地突破了632.8nm红光下理论衍射极限。

这完全颠覆了光学常识！

常浩南依旧沉默着，手指稳健地操控鼠标。屏幕上的画面继续向下移动：

group11，e1ement1（对应分辨率约244nm）–清晰！

group11，e1ement2（约218nm）–清晰！

group11，e1ement3（约194nm）–清晰！

……

栾文杰的心跳随着每一次画面切换而加，呼吸也变得急促起来。

每一次清晰成像的出现，都在无情地冲击和粉碎着百年光学理论的基石！

画面再次切换：

group11，e1ement4–三条亮线依然顽强地保持着可分辨的状态。

虽然对比度相比前面几组有所下降，亮线似乎也略微变细，但它们依旧清晰地并列着，中间的黑缝明确存在！

这已经将衍射极限甩开了相当一段距离！

栾文杰感觉自己的情绪似乎被调动了起来，他死死盯着屏幕拳头不自觉地握紧。

常浩南再次点击。

画面切换到了group11，e1ement5。

这一次，屏幕上的景象终于生了变化。

那三条本应清晰独立的亮线，此刻却如同被水浸润的墨迹，边缘模糊，相互粘连、融合在一起，形成了一片边界不清的、亮度略高的弥散光斑，再也无法分辨出任何独立的线条结构！

“看不清了！”几乎是同一时间栾文杰和栗亚波两人异口同声地喊了出来！

脱口而出之后，前者才意识到自己好像有点失态。

但好在这里也没外人，所以他很快又重新盯上了眼前的屏幕。

“这个图案是11组5元素（group11，e1ement5）！”

他准确地喊出了刚刚变得模糊的那个靶标元素的编号，声音因为激动而有些变调。

常浩南点点头，目光锁定在屏幕上最后那个清晰的图案上：“没错，所以最后一个能清晰分辨的，就是11组4元素。”他随即转向栗亚波，“亚波，靶板说明书。”

栗亚波立即把说明手册翻开，铺在键盘前面。

这本手册详细记录了usaf1951分辨率靶标上每一组、每一个元素对应的精确线宽和分辨率数值。

由于11组的元素极其细微，极少在常规测试中使用，其具体数值连常浩南也无法立刻记清。

实验室里瞬间安静下来，只剩下几人略显粗重的呼吸声。

所有人的目光都聚焦在常浩南沿着表格不断移动的指尖上。

沿着目录快找到11组，然后顺着元素编号向下移动，最终稳稳地停在了一个数字下面：

“group11，e1ement4……reso1ution：o.173μm……173nm。”

173纳米！

这个数字如同一个惊雷，在小小的实验室里轰然炸响！

常浩南抬起头，目光扫过满脸震撼的栾文杰和激动得脸颊泛红的栗亚波，他的声音平静，却蕴含着足以改写教科书的力量：

“632.8nm波长红光下的理论衍射极限分辨率，按最宽松的瑞利判据计算，大约是316nm。按更严格的斯派罗判据或实际工程经验，通常认为在35onm附近。”

他顿了顿，每一个字都掷地有声：

“而我们观测到的、最后一个清晰可辨的11组4元素，其对应的分辨率是173nm。”

“即使考虑到测试中可能存在的微小误差，这个结果也明确无误地表明——”

常浩南的声音陡然拔高带着宣告般的穿透力：

“我们成功突破了传统光学成像系统的阿贝衍射极限！”

第1624章分辨率光刻

栾文杰的视线凝固在屏幕上最后那个清晰的“group11，e1ement4”标识上，仿佛时间都要凝滞了。

173nm——

短暂的兴奋尽头过去之后，他不由得开始思考起这个数字背后的深层含义。

衍射极限，是光学系统中由电磁波衍射效应形成的分辨率理论上限，是光的波粒二象性的延伸。

如果往大了说，甚至可以算是现代物理学、乃至现代科学的基石之一。

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