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复旦大学微电子系高等电子技术实验室的工作人员不只来自半导体和电子领域,作为芯片制造工艺的基础研究实验室,它和上海计算机所、北京电子信息大学、长春光电所共同完成芯片生产线的所有工序设备。
光刻机固然是其中的重头设备,除此之外,氧化技术、扩散技术、刻蚀、离子注入、化学气相沉积、金属化、表面钝化、缺陷控制,这些都是要研究而且不断做到更新换代的基本技术。
所以实验室里还有化学专家,尤其是无机盐和精细化工专家;有材料专家;有固体物理学的研究者,当然还有机电工程师。
“怎么样,高均匀度离子注入的工艺有突破了?”
谢希德:“基本的原理,阿黄已经搞定了,我们现在的工作是把设备制式化。”
芯片制造的十几道主工序、十几项技术,唐华把日常工作甩给了四个大学研究所,只在他们磕到大坑的时候,唐华才出手,带他们绕过坑或者搭块板子踩过这个坑。
如果将来唐华自己也遇到了坑……那句老话叫啥,遇事不决,量子力学。就去苏联科学院一趟,或者给朗道发邮件。
但总的来说,遇到量子力学壁垒应该是至少10年以后的事,如果牙膏挤得慢,可能十几二十年以后才会撞墙。
况且130纳米的量子力学壁垒唐华知道大概的解决方案,只是需要更详细的数据计算公式。
“唐部长,我们现在有点感觉‘高处不胜寒’了。”谢希德叫她“阿黄”的是实验室执行主任黄令仪。
唐华知道黄令仪说的高处不胜寒指的是什么。
第一代非接触式光刻机包办了10微米、6微米和5微米芯片制造。第一代光刻机的1.2改进型是5微米,再往前走,就到了第二代光刻机,已经从T61开始投入使用了。
第二代光刻机现在在使用4微米工艺生产T61和T62,第二代的2.1改进型挖潜力能挖到3微米,但现在还不需要挖到3微米。
第三代光刻机把工艺极限下挖到了1.5~3微米。
而且,高等电子技术实验室正在研究的不是第三代光刻机!
第三代光刻机已经造好了,从长春运出来了,第三代芯片生产线的所有设备也都到位了,放在了北京计算机所附属的798厂区,上个月开始为航天、航空、核潜艇和水面舰CIC中心生产高性能ADC和DSP芯片,以及下一代的侦察卫星CCD。
第三年代芯片生产线虽然运转起来了,但客观地说确实不够成熟,良品率很低,但是为军用重点装备生产高性能芯片,那没有问题,生产线哗啦一下就出几百几千片,从里头能挑出几片完美的就行了。
放眼世界呢?第一代光刻机生产的X5700系列和XS3725单芯片,电子信息工业局和国家计委讨论了两次,结论还是先压一压,不着急推向国外市场。
唐华:“你们现在研究的技术已经在支持1.5微米到亚微米的芯片了,所以,当然会感觉越来越困难,尤其困难的是,回头看其他国家,连影子都看不到。所以你们的研究,就是自己和自己赛跑的过程。”
“不是我们要超出或者领先别人多少,而是我们需要芯片以及计算机不断地提高性能,满足各行业对信息化设备的需求。”
“我打个比方吧,今年初,我们试飞了一款无人机,它现在还在采用原始的无线电遥控方式,但未来一定会采用数字图像传输的双向数据链。”
“这样,无人机的操作员就可以看着摄像头的视频直播,操操纵无人机飞行或者战斗,但你们想过没有,这对数据处理的要求有多高?”
“人的肉眼如果不近视,它的有效像素大约是2亿像素,每秒分辨的独立画面是24帧……所以别想两亿像素的事了,我们只希望能有1280x960,也就是百万像素级别的画面,就可以了。如果实在不行,720x480也凑合。”
“百万像素,每秒24帧,你们算算,无人机上的数字处理芯片每秒钟的处理能力要达到多少,这样的芯片,需要什么样的技术才能制造。”
高等电子技术实验室的研究人员:……
“这方面我可以告诉大家,在北京,第三代光刻生产线出来的ADC和DSP芯片,在多芯片协作的情况下,可以凑合达到这个标准。”唐华说,“但是,我还是希望未来能有单块处理芯片就能完成这些工作。”
“如果你们做到的单块芯片完成数据处理工作,那我就把画面要求从720提高到1280,再提高到1920,再提高到……3840。”
……
东海。
5月底,“江苏”号进行第5次试航。
前4次试航对动力系统进行了全套测试,都顺利通过了。
“江苏”号的蒸汽轮机系统就是56型和58型上的那一套,用在了万吨巡洋舰身上而已。两根推进轴是比驱逐舰长了一截,好在万吨水压机和激光校准系统不是吃素的,运转起来很顺畅。
第五次试航,就要开始测试舰上的其他设备。
5月25日傍晚,“江苏”号在东海航行,下午在东海盘旋的P-2巡逻机返航,参加试航的舰员就动手把舰桥上的彩条布拆了下来。
5月26日凌晨,舰载相控阵雷达首次运行的时候,“江苏”号上倒没有什么特别的反应——全舰电磁设备的使用频段做过总协调;但旁边护航的猎潜艇和护卫舰,导航雷达就受到了不小的干扰。
在“江苏”号上的作战&情报中心(CIC),相控阵雷达的扫描数据传送到了3台显示器上,圆形的探测区域,代表雷达波扫描位置的还是一条从屏幕中间拉出的亮线,只是这条亮线的旋转速度特别快……2秒就能转360度。
也就是2秒钟,雷达就更新一次500公里半径内的空域信息。因为扫描位置线的旋转速度太快了,为防止晃花眼,这条线的亮度比其他雷达的要低一些。
“在上‘江苏’号之前,你们有谁在307雷达的操作室工作过?”
首任舰长马俊问雷达操作员,其中两名雷达兵举起了手。
马俊:“307雷达和311雷达其实还是有些相似之处的,你们应该可以很快就上手。等会儿就会有空军的飞机来配合测试了。”
天刚蒙蒙亮,浙江和江苏的空军机场,就开始起飞飞机配合“江苏”号做测试。
机型主要是两种:拉-9和伊尔-10,用这两种快要淘汰的螺旋桨飞机,原因很简单:省油,省维护费用。
为什么要省钱呢?嗯……
凌晨5点,三个军用机场一齐出飞机,拉-9和伊尔-10一架接一架地从跑道升空,在空中整队,然后三个机场的飞机各自飞向东海的指定海域。
这机群,一共有115架。
现在知道为啥要用单发螺旋桨飞机了吧,真的可以省很多钱,一不小心几百吨油就烧掉了。在太湖旁边,相控阵雷达陆基测试样机就请空军做过类似的试验,所以空军对海军的雷达测试也是怕了。
……
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