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第42章 杀一只狗庆祝（第2页）

王大衍向唐华介绍现在的样机。“因为光电子所的人手有限，所以我们把重点放在了蓝光的光学系统上面，也就是现在的这一套样机。紫外激光的光学系统还在图纸设计阶段，另外适合于紫外光的光学玻璃透镜组，隔壁长光也还没有确定下来。”

唐华：“能把蓝光的光学系统做好，已经是飞速的成就了。我还以为实在不行又得去找东蔡呢。”

王大衍呵呵笑道：“还凑合吧，这两年我花在隔壁的时间比在光电子所还长，不过长广也还算是争气，没有拖后腿。他们最后定版可用的这一套透镜组，是半年前就开始磨的。”

长春光学仪器厂接受的是喀山光学仪器厂的对口援助，从仿制苏六双筒军用望远镜起步，苏六然后是苏八，然后更高级一点的光学镜，中间突然蹦了一下，硬是把激光光学透镜组给磕了下来。

听王大衍的描述，长光是集结了熟手和高级技工，一点一点地手工把这个东西啃下来的。

然而……管它呢。不要在意这些细节。就算以后量产了，这东西的产量也并不是很大，允许在现代辅助工具帮助下的手工制作。

一切准备就绪，所有人来到试验台前面，王大衍按下开关，启动了激光器。

氦-镉激光器产生一束工业级别的大功率蓝光。试验台上是一大堆用金属梁臂结构固定得异常结实的透镜和棱镜。蓝光先被扩大，然后反射，然后被另一个透镜从发散状改平行，然后再次折射……

最后，从终端射出来的激光已成了直径100毫米的一个筒子，标准的圆形光柱。

由于激光器本身的结构，启动之后从里面出来的激光都是一小束。长春光电子所和长春光学仪器厂做的这套光学系统，目标就是把这一小束激光扩散成一个直径100毫米的光柱。这个光柱不但要保持原先的几乎绝对的指向性，而且光柱每一个区域的功率都要绝对均匀。

王大衍再在终端射出的光柱上加一个棱镜反射镜，试验台向下射的光柱改成向左平行射出，射向墙上一块埋设了散热器的区域。唐华和王大衍戴上墨镜，走到墙边看，这个蓝光柱虽然在空气中又走了十几米的距离，但还是一个完美的圆形，直径还是分毫不差的100毫米。

成了！

王大衍、唐华、实验室所有人击掌庆祝。“重大成果，老规矩，”王大衍说，“杀一只狗庆祝。”

……

长春光学仪器厂。

在长光视察、表彰先进。唐华和王大衍走到仪器厂边上正在建设的光纤厂工地。

“赵忠尧老师和他的队伍是3月2日回北京的，他回去的时候，工地刚开始铲地皮。现在过去两个月了，虽然还是没有楼房竖立起来，但已经到处是建筑工人和建材，”王大衍说，“明年的4月，光纤厂就要试试量产光纤了。”

唐华：“光学玻璃组，现在炼出来的玻璃还是10dB级别吗？”

“略低于10dB，但离你说的4.5dB的目标，可能还得一段时间。”

唐华：“今天的重大成果，你知道意味着什么。”

王大衍：“长春又要建一座新厂了。叫做……光刻机厂？”

唐华点点头，“如果广义来说，接触式和非接触式光刻机都叫光刻机，但我还是觉得，非接触式底板的光刻机才是真正的光刻机。”

底板就是掩膜。苏州鸿海公司的工程师们自己给它起了个“底板”的通用名称，唐华已经改不掉了。

王大衍上次回北京的时候已经算是X小组成员了，所以他知道唐华说的话的意思，但还是感叹道：“为了走出这一小步，代价好大啊。”

为了这一堆镜片，王大衍在长春闭关三年，而且把一个研究所和一个光学仪器厂折磨得痛不欲生……

唐华：“我们现在通用计算机、专用计算机都加上，一年产量不过一千多台，所以还看不出效率有太大的差别。未来计算机和各种准系统的年产量会指数上升，到年产一百万台、甚至一千万台，计算机的制造成本也要指数下降，那时候只有非接触式工艺才有前途。”

底板就像底片，上面有集成电路的缩微图样。接触式光刻机把底板放在硅片上，然后用汞灯照。但这样底板和硅片上的光刻胶会相互污染，其中底板的污染比较要命。

美国曾尝试过用接触式光刻机生产1微米工艺的芯片，结果发现当刻到第五张硅片的时候，掩膜（底板）的线条就开始出现瑕疵，刻到第25张的时候掩膜已完全损坏不可用。

现在X小组刚刚实现10微米工艺，底板的寿命就从16微米的500次缩减到大概200次了。

但早期的技术又不得不让掩膜直接接触硅片，因为这时候用的是汞灯，掩膜哪怕悬浮在硅片上方1毫米处，硅片上照出来的显影图案就马上变糊。

所以得用激光，一束直径100毫米的、完全直射的、均匀的、大功率工业激光。有了它，底板或者说掩膜悬浮起1毫米半毫米也没关系，硅片上依然会显现出清晰的图案。

掩膜不和硅片接触，那光刻胶和底板的相互污染就不存在了，掩膜可以用很久很久。

……

“那咱们回光电所吧，”唐华说，“我还惦记着狗肉呢。说起来，今天应该杀两只狗而不是一只。”

王大衍：“我们不经意间取得了两项重大突破？”

“也不是。但你这个东西搞了出来，那我就可以放心地把集成电路计算机往外卖了。”

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