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第40章 千亿男神EUV光刻机（第2页）

兑换完直接提取。

五台银光闪闪的庞然大物凭空出现，整齐排列在仓库中央。

每台光刻机都配有完整的配套设备，打包得严严实实。

查看下附带的清单。

光刻机主机，重约180吨，包含光源系统、光学镜组、精密工作台等核心部件。

光刻胶，50升套，适用于5nm制程的化学放大胶。

12英寸晶圆，1000片套，纯度99.9999999%的单晶硅片。

显影液，200升套，TMAH基碱性溶液。

蚀刻液，300升套，包含干法蚀刻和湿法蚀刻全套材料。

沉积材料，ALD前驱体、CVD气体等全套沉积材料。

检测设备，包含CD-SEM、光学检测仪等全套检测工具。

李昊仔细检查每一台设备，确保所有配件齐全无损。

这些设备的价值单位都是论小目标来算的，光是那5000片12英寸晶圆就价值数千万。

李昊欣赏了好一会儿这些设备所独具的科技美感。

顺带清点下配套的设备和耗材。

检查完毕，他拨通了中芯国际技术总监徐必成的电话。

“徐总，设备已经到位了，可以派人来接收了。“

电话那头沉默了几秒，紧跟着呼吸粗重起来：“李总，是您说的那批……光刻机？“

“没错，五台EUV光刻机。“李昊语气轻松得像在讨论买菜，“一台运到浙大微电子所，剩下四台直接送到你们的工厂。“

“五......五台？！“张明远的声音陡然提高了八度。

一台就足够吓人了。

竟然有五台之多？

“到了就知道了。“李昊神秘一笑，“记得多带几辆重型卡车，这些家伙可不轻。“

两小时后，五辆重型卡车和十几名工程师抵达仓库。

带队的是中芯国际的首席技术官王建军，一个在半导体行业摸爬滚打三十年的老将。

当他看到仓库里那五台银光闪闪的EUV光刻机时，整个人如遭雷击。

“这、这居然是真的！”

他踉跄着上前，颤抖的手抚摸着光刻机冰冷的外壳。

他猛地转向李昊，眼中满是难以置信：“李总，这些设备是怎么……“

“商业机密。“李昊微笑着打断他，“王总还是先检查设备吧，确认无误后尽快运走。“

王建军如梦初醒，立刻指挥技术团队开始检查。

随着检查的深入，工程师们的表情越来越精彩。

“光源功率250瓦，稳定性0.3%......这参数也太逆天了吧？“

“光学系统NA值0.55，分辨率13n.....天呐，这可以直接做3nm工艺了！“

“工作台精度0.1n.....这精度是人类能生产出来的？“

王建军听着手下工程师的汇报，额头上的汗珠越来越多。

这些设备不仅货真价实，而且性能远超当今最先进的光刻机。

当然不可能是从国外渠道，因为国外也不可能做到这种可怕的精度。

并且那些设备上的LOGO，是个抽象化的符号，貌似还有点眼熟。

看着隐约像个举着斧子的人形。

王建军猛然一惊！

这是——盘古？！！！

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