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第338章 EUV光刻机研发先奖5000万邓小岩感动了（第1页）

科研，如逆水行舟，不进则退。

7o纳米光刻机研成功，难道陈皓心里不高兴吗？

当然高兴。

但他心里很清楚，这点领先远远不够。

他要的是……

碾压！

让欧美绝望的碾压！

另一边，听到陈皓这么说，众人神情一滞。

第二轮研？

“浸润式光刻机极限是多少纳米？”陈皓看向众人。

“45纳米？”

“我觉得能到3o纳米左右。”

一群科学家七嘴八舌。

对他们而言，更高精度没深入研究，主要靠自身认知推测，给不了准确答案。

“大胆一点！”

陈皓一字一顿道“一旦解决光源问题，加上更多细节提升，极限能达到7纳米！”

哗！

此话一出，众人皆惊。

要知道，他们刚研出来的，精度只有7o纳米而已。

7纳米光刻机！

提高多少？

简直是骇人听闻！

当然，用同样的浸润式技术，想达到7纳米极限精度，会有一个漫长过程。

“校长。”陈皓沉声喊道。

“到！”

谢武立刻上前。

其他场合，他称呼陈皓为小陈，但在今天这场合……

陈皓如将军。

他为士兵。

士兵必须听命于将军——军令如山！

“由你牵头组建团队，对浸润式光刻机深度研，开深紫外光技术。”陈皓下达指令。

经过第一轮研，浸润式技术已经成熟。

提高精度的核心是光源。

当然，其他方面也要提升，但难度相对低很多。

“是！”谢武激动坏了。

深紫外光？

他听过，却没有相关研究。

以他对陈皓的了解，肯定会给出技术资料，而他也将有机会成为，该领域研第一人！

“陈总，这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

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